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Aridus3 膜去溶霧化系統采用低流量、微量霧化器，只需極低量樣品就能分析所有元素，同時系統全部采用PFA惰性材料，可應用于含HF酸的樣品，廢液反抽技術進一步提高了穩定性。

U5000AT+ 超聲波霧化系統為使用ICP-OES和ICP-MS的痕量元素測量提供改善高達10倍的檢出限。液體樣品被引入壓電換能器，為等離子體提供更高的分析物傳輸效率。 帶有電熱冷卻的集成膜去溶系統可去除多余的溶劑并確保獲得穩定的等離子體。